第607章 后續

          光源部件被攻克了,光刻機的其他系統部件,也應該快了。

          “不行,我們也得加快速度,不能夠被其他團隊超過?!?br/>
          “這段時間,你們和家人都說清楚,我不會放假了,咱們團隊必須要解決工藝問題?!?br/>
          “要檢測半導體芯片制造過程中的光學性能,就需要用到光學量測系統,沒想到大夏新科的團隊居然連這個都一并搞定了,真是江山代有才人出?!?br/>
          “你們有沒有發現,大夏新科的這套光學量測系統,不僅可以用于測量制造過程中的光學參數,剛在PPT上面的焦距、曝光均勻性、聚焦深度等數值,好像比我們現在用的還要精密一些?”

          “很可能是那群半導體工業軟件開發團隊的成果,從晶圓制造、光刻機調試、光刻模板檢測這幾個領域項目,聽說這個團隊都有進駐?!?br/>
          議論之中,鄒王振教授與周潭教授兩人在會后交流了片刻。

          在得知對方愿意共同合作研發EUV光源,鄒王振教授雖然還是搖頭婉拒了招攬。

          “能夠有你們在這條路上前行,我雖然有些失落這個成果不是我們率先得出,但我相信我們堅持的路線也會有回報。

          這次是你們領先,但下一次,說不準就是我們團隊領先了?!?br/>
          周潭聽到對方這話,也頷首祝福道:“既然如此,那我們下次再會,我相信不論是貴方,還是我們團隊,最后肯定都能夠成功,穩態微聚束技術在半導體光源的應用范圍還有很多可挖掘的地方?!?br/>
          “嗯?!?br/>
          鄒王振教授在交流、握手之后,轉過身,邁步向外走去。

          他身旁的學生們,雖然還有些心思浮動,但表情已經比之前好許多。

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