但是這種光源在制造五納米以下的3納米、4納米的芯片時，就會成為一個老大難的問題，因為能量不夠集中，不夠精密。

    當然，現在臺積電和高麗韓星電子的半導體芯片制程都已經變成了他們兩家公司自己設定的規格，而非真正意義上的物理規格制程，所以我估計這一天會來得比較晚，至少十年之內不會有光源問題。

    但這也只是比較晚，而并非徹底解決了問題。”

    說到這里，周瑜的話語頓了頓。

    “但穩態微聚束技術避免了這個問題。穩態微聚束光束實現了一千瓦的更高輸出功率，加上它帶寬較窄，需要更少的反射鏡，因此可以產生更高的終端功率。

    我們現在正設計一個功率高于一千瓦穩態微聚束極紫外光源，只要等咱們這邊的電子對撞試驗場地和設備建成，還有一些關鍵技術成熟，或許設計的藍圖，將會很快成為現實中的設備。”

    聽到周瑜的“畫餅”，鄒王振教授和他身旁的三位博士生都有些心向往之。

    而且除了畫餅之外，周瑜還帶著鄒王振教授一行人參觀了一些不算技術核心的數據和模型推導成果，展示了新科半導體光學團隊為將穩態微聚束技術進行落地實踐和技術成果未來轉化，所做的努力。

    當然，除此之外，周瑜也對鄒王振教授一行人直言：“咱們大夏聯邦的光刻機自主研發之路，還有很長的路要走。

    我們和其他高校、試驗機構一起披荊斬棘，也只是在勉強開墾一條可供行走的道路罷了。”

    周瑜一直都認為，基于穩態微聚束的極紫外光源技術，也只是能夠解決自主研發光刻機中最核心的光源難題，除此之外，半導體產業的革新和進化，還需要大夏聯邦半導體產業的上下游產業鏈相互配合升級，才能獲得真正成功。

    聽完周瑜的講述之后，鄒王振教授也是感慨萬千。

    “光刻機這個設備，一直都是工業明珠中最閃亮的一顆。

    它背后的一整套納米工業產業鏈，根本不是一所高校、一個實驗室、一家企業能夠完成的。

    阿斯麥公司和我的團隊也有過溝通交流，他們最頂級的一臺光刻機，其內部就有超過10萬個高精尖的零部件，它們來自藍星全球5000多家供應商，并且在組裝的時候，還要保證整臺機器的所有零件都要達到納米級精度。

    貴公司的微聚束極紫外光源粒子加速器尚未建成，其他零部件的生產工藝也遠遠沒有達標，還有咱們大夏聯邦的高精尖機床，現在也發展遲緩。

    的確是任重而道遠啊。”