不過楊剛省的擔(dān)憂，在周瑜的講述之后，很快就散去了不少。

    “光刻膠這個(gè)材料，雖然極其重要，但是必須綜合評價(jià)各性能指標(biāo)與客戶需求匹配性。

    在我了解的情況當(dāng)中，光刻膠廠商在一個(gè)型號或者一個(gè)系列的光刻膠目錄下，有十幾個(gè)甚至幾十個(gè)品種，以滿足不同客戶的需求。

    因此光刻膠性能好壞并不能簡單的以各個(gè)指標(biāo)的絕對值進(jìn)行判斷，還須經(jīng)過充足的光刻工藝評估，符合客戶需求的，才是最優(yōu)秀的材料，所以我們不僅需要開發(fā)光刻膠，還需要足夠了解光刻膠的成員與各芯片代工企業(yè)溝通，知道材料的偏性。

    而且按照光照后顯影時(shí)與顯影液產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)劃分，它還可以分為正膠與負(fù)膠。正膠的光敏成分在光照下會分解成為短鏈結(jié)構(gòu)，從而在顯影環(huán)節(jié)中會被顯影液去除，因此在光線照到的區(qū)域，會被顯影液去除，在蝕刻過程中光照到的區(qū)域會被等離子化氣體蝕刻去除，最終留下的圖樣是曝光工序中光線所沒有照到的區(qū)域。

    負(fù)膠與正膠的圖形轉(zhuǎn)移過程找好相反。聚合物的短鏈分子在光照條件下發(fā)生聚合反應(yīng)，形成難以被顯影液除去的聚合體系，未被光照的區(qū)域光刻膠被去除，在后續(xù)的刻蝕中被移除，形成與掩模板上相反的結(jié)構(gòu)。

    對于正膠與反膠而言，雖然進(jìn)入DUV時(shí)代以后，正膠成為了絕對的主流，但這并不意味著負(fù)膠的性能落后于正膠。

    不過現(xiàn)在EUV光刻機(jī)進(jìn)入真正的高端代工產(chǎn)業(yè)，臺積電肯定要解決光源強(qiáng)度不足的問題，化學(xué)放大光刻膠或?qū)⒊蔀橹髁鳌?br/>
    化學(xué)放大型光刻膠主要組分?jǐn)[闊成膜樹脂、光致產(chǎn)酸劑、添加劑、溶劑。

    由于化學(xué)放大型光刻膠的量子效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于其他體系，因此化學(xué)放大反應(yīng)也幾乎成為了深紫外時(shí)代以來光刻膠配方設(shè)計(jì)的唯一路線。

    楊剛省主管曾經(jīng)在臺積電的光刻膠項(xiàng)目工作過，不過現(xiàn)在已經(jīng)過了競業(yè)協(xié)議期，并且參與的也是新技術(shù)開發(fā)，所以，您愿意帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)，繼續(xù)在光刻膠這個(gè)行業(yè)奮斗嗎？”

    楊剛省沒想到周瑜連自己的競業(yè)協(xié)議時(shí)間都記得，而且還知道現(xiàn)在光刻膠最新項(xiàng)目的發(fā)展方向。

    想到曾經(jīng)遇到的那些惡心遭遇，雖然年紀(jì)已經(jīng)不算年輕，但楊剛省還是有那么一口氣在。

    他當(dāng)即抬起頭，開口說道：“我愿意帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)，只要公司能夠給予我們團(tuán)隊(duì)足夠的支持，光刻膠這個(gè)難啃的骨頭，我們團(tuán)隊(duì)哪怕崩了牙齒，也得啃下來！”

    足夠的支持?

    周瑜并沒有對這位大將要資源而感到氣憤，畢竟古代皇帝都知道不差餓兵，現(xiàn)在科研攻堅(jiān)需要的資源更多，沒有設(shè)備和材料、技術(shù)支援，哪怕是讓諾獎(jiǎng)得主去搞項(xiàng)目，人家也不可能手搓成功。

    不過周瑜并沒有單獨(dú)給楊剛省保障，而是對這位大將點(diǎn)了點(diǎn)頭，轉(zhuǎn)而對所有研發(fā)人員說道：“咱們公司研發(fā)項(xiàng)目一項(xiàng)都是不遺余力，尋找任何可能的幫助。

    輔旦高校、西工大等有合作的高校教授都會給予我們幫助支持，同時(shí)公司其他研發(fā)團(tuán)隊(duì)的成員也會團(tuán)結(jié)互助，大家將項(xiàng)目方案提交審核通過之后，設(shè)備采購部門也會配合大家的需求，進(jìn)行采購。