“DUV？如果沒問題的話，豈不是EUV深紫外光刻機也能夠等技術進步，開始列裝？“

    “我記得給阿斯麥公司提供光源激光器的快通公司，用的好像是碟片激光器，看這個光源結(jié)構，很明顯是固體狀態(tài)的碟片激光器。”

    在這些驚訝、疑問的話語交談聲之中，周潭教授聽到了認真討論探索的聲音。

    他對這位來自于西工大的教授，頷首，微笑道：“沒錯，我們使用的是碟片激光器，雖然碟片激光器和光纖激光器都是優(yōu)秀光源的技術處理路線，但是在我們的測試中，一旦功率超過了200W，碟片激光器的優(yōu)勢比光纖激光器更明顯。

    它直接解決了傳統(tǒng)激光器，在熱透鏡環(huán)節(jié)的承載上限問題，并且有更高的光電轉(zhuǎn)換率，既然要成為我們大夏聯(lián)邦半導體產(chǎn)業(yè)的革新光源，自然不能夠在這方面有弱點。”