第九六五章 最高水平
一旦BSEC光源研究所在重生者的指引下,在ArF準分子激光器專利技術的基礎上,研制成功ArFi準分子激光器和浸沒式光刻系統,雖然浸沒式光刻系統的專利技術屬于BSEC,但根據雙方簽訂的專利技術轉讓協定,ArFi準分子激光器的專利技術就屬于GCA!
GCA生產ArFi準分子激光器,購買BSEC的浸沒式光刻系統專利技術,也能生產浸沒式光刻機。
早一日研制成功8英寸晶圓、350nm制程工藝的磁懸浮式雙工作臺系統,制程工藝最高就能提升到250nm,憑借提高35%的生產效率,Gikon光刻機的高端市場份額,奪回全球高端光刻機市場。
峰回路轉!
艾德里安、湯普森的心情比魏建國、鄧國輝還急迫。
談判和簽訂專利技術轉讓協定期間,孫健不在京城,艾德里安和魏建國都拿著他簽署的代理書談判,雙方公司的律師在場監督,并在專利技術轉讓協定上簽字證明。
專利技術轉讓協定符合中美法律。
巴T協定禁止8英寸晶圓和500nm制程工藝的半導體生產線出口中G,但沒有禁止ArF準分子激光器出口,800nm制程工藝專利技術也不在禁令之中。
美國人知道就是中G光刻機公司耗費巨資買到了ArF準分子激光器和800nm制程工藝專利技術,也生產不出6英寸晶圓和800nm制程工藝的半導體生產線。
光刻機被稱為半導體產業皇冠上的明珠,占一條半導體生產線總投資的1/3,除了光源、鏡頭和工作臺三大核心技術之外,還需要光速矯正器、能量控制器、遮光器、能量探測器、掩膜版、掩膜臺和光束形狀設置,復雜程度超過大型航空發動機。
就像一般飛機制造廠買到一臺頂級航空發動機,也不能生產頂級飛機。
國內光刻機半導體設備產業停滯了近十年,相關配套產業掉隊太遠,不是短時間用錢能買來的!
BSEC如今拿到了ArF準分子激光器和800nm制程工藝專利技術,還有獨創的磁懸浮式雙工作臺系統,既不能生產8英寸晶圓、800nm制程工藝的光刻機,也不能生產6英寸晶圓、800nm制程工藝的半導體生產線。
BSEC還要去買先進的光學系統,進口6英寸晶圓、光刻膠、掩膜版等材料和設備,經過系統合成,就是能生產6英寸晶圓、800nm制程工藝的光刻機,只能算組裝。
前世ASML生產的EUV光刻機,據說90%的零部件都是從全球5000多家公司采購的,但EUV光源(收購了Cymer)和雙工作臺系統等關鍵技術是自己的,還參股了Zeiss SMT AG近三成的股權,將光刻機的三大核心技術掌握在手里,由于壟斷經營,凈利潤高達五成,全球5000多家零部件公司排隊供應零部件。
只要搭上ASML這列豪華列車,零部件公司的股價就會暴漲。
各國制定的《反壟斷法》在ASML面前如同一張白紙!
鄧國輝拿到ArF準分子激光器專利技術,同光源研究所所長助理錢富強仔細研究一番后,如醍醐灌頂,豁然開朗,第二天就申請2000萬元的研發資金,定購新的機器設備和材料,如今帶領光源研究所在新的實驗室內,按照GCA提供的技術圖紙,消化吸收ArF準分子激光器專利技術,為研究ArFi準分子激光器和浸入式系統做準備。