司徒靜趕緊戴上眼鏡，看的震驚！

“您再看這個，這是殘缺的納米材料，在這芥子掃描電鏡之下，可以更快速的找出其中的缺陷，而且，我們之前設計的光學掩膜器一直不成功，是因為在這些位點上，有一個巨大的坑洞和雜質，會明顯的吸收光源！如果能夠突破這些，我們現在完全可以搞出這樣的光學掩膜器?！迸赃叺娜藢χ就届o匯報道。

“好好好！”司徒靜看著材料，同樣興奮地有些語無倫次。

隨后，激動地拿著掃描圖象前往陳陽的辦公室！

看到司徒靜拿過來的圖片，陳陽臉上同樣帶著驚喜和意外！

“恭喜恭喜！司徒教授，您在光學檢測領域，為國家做出了巨大的貢獻，不但填補了空白，也在這一領域站穩了腳跟，有了這個神器，龍國的材料科學必將突飛猛進的發展，龍國的生物醫學也會得到巨大的進步！”

陳陽看著圖片結果，忍不住恭喜道。這竟然比自己原來想象的還要好！

“同喜！同喜！哈哈哈……我們這邊已經完成了實驗室的樣品制作，現在可以馬上進行生產！我計劃先生產3臺，你覺得如何？”司徒靜對著陳陽問道。

“生產5臺吧，3臺恐怕不一定夠。”

“5臺？咱們現在的經費不夠了。而且，現在的流水線，也被別人占著，想要生產，還要再向上面申請。”司徒靜對著陳陽說道。

“沒關系，生產車間，我會和張所長溝通解決，至于研發經費，就從我的研發經費里面走賬吧?！?br/>
“這……”司徒靜有些猶豫。

“司徒教授放心，這芥子掃描顯微鏡我也是要用一臺的，后面的光學掩膜器的生產，還是晶圓的生產，又或者是光刻機空氣凈化裝置，都需要用到這個，所以，用我這邊的經費，也算是提前支付了！至于知識產權，是您全程研發的，自然都是您的?！标愱栃χf道。

聽到陳陽這樣說，司徒靜趕緊擺手！

“陳教授，您誤會了，關于知識產權，在這個項目前段時間遞交立項的時候，這個項目負責人，我就寫了您的名字，從最初的設想，到現在最終做成，您都有參與，并且在其中擔任領導性決策，知識產權必須有您一份！”ia

“不必不必！”陳陽推辭。

“不行！雖然我知道您看不上，但是，偷人東西的事情，我做不出來，我寧愿不要這發明人的角色！也不希望別人來戳我脊梁骨！”司徒靜說道。

這芥子掃描顯微鏡，無論從最初的理論設計，再到中間關鍵技術的解決，都是陳陽在指導。

按照當前研究的通用規則，這個知識產權全部都應該歸屬陳陽所有。

最終陳陽答應了司徒靜。

“那我就卻之不恭了！不過，以后若是有什么事情，還請你來去完成。比如領獎，研究合作什么的?！?br/>
“好。您放心，只要不是不能解決的問題，保證不會去打擾您?！彼就届o說道。

送走了司徒靜！

陳陽回到辦公室，再次看著手中的圖紙！

薄膜機，光刻機，蝕刻機！

薄膜機相對技術含量較低，已經被突破，蝕刻機這次也已經全部突破，現在，就剩下光刻機了了！

“晶圓，光刻膠，掩膜器，凈化系統……”

看著這一個個難點，像是一個個釘子，目前剩下的問題不多了，只要再拔掉這幾個，就可以很順利的解決光刻機問題！有了這芥子掃描顯微鏡，絕對會事半功倍！

……

與此同時，整個eva聯盟，都收到了龍國已經突破刻蝕機的消息！

“怎么回事？之前不是說他們至少要三年之后才能突破嗎？為什么這么快？是不是竊取了咱們的專利技術？”米國euv聯盟委員會主席史蒂芬對著在場的眾人問道。

“目前還沒有消息出來。他們沒有申請專利，而且，從我們這邊得到的數據來看，并沒有觸犯咱們的相關專利。”

“沒有侵犯？難道他們完全走出了另外一套蝕刻機技術？”

“雖然不愿意承認，但是，確實從里到外，完全是自主研發的。而且，速度，效率，良品率，都比現在的要高出很多！”山野正雄垂頭喪氣的說道。